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某半导体厂超纯水监测系统

高精度 pH/电阻率在线监测,配合再生加药,产水水质长期稳定。

某半导体厂超纯水监测系统

核心指标

18.2

MΩ·cm 水质

项目挑战

超纯水系统水质要求达到 18.2 MΩ·cm,再生加药精度不足导致水质波动。

解决方案

高精度 pH 与电阻率在线监测仪表 + 再生药剂精密计量投加,数据接入 DCS 集中监控。

实施成效

  • 产水电阻率稳定 18.2 MΩ·cm
  • 再生药剂消耗下降
  • 数据完整性满足审计

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