电子
某半导体厂超纯水监测系统
高精度 pH/电阻率在线监测,配合再生加药,产水水质长期稳定。
核心指标
18.2
MΩ·cm 水质
项目挑战
超纯水系统水质要求达到 18.2 MΩ·cm,再生加药精度不足导致水质波动。
解决方案
高精度 pH 与电阻率在线监测仪表 + 再生药剂精密计量投加,数据接入 DCS 集中监控。
实施成效
- 产水电阻率稳定 18.2 MΩ·cm
- 再生药剂消耗下降
- 数据完整性满足审计
高精度 pH/电阻率在线监测,配合再生加药,产水水质长期稳定。
核心指标
18.2
MΩ·cm 水质
超纯水系统水质要求达到 18.2 MΩ·cm,再生加药精度不足导致水质波动。
高精度 pH 与电阻率在线监测仪表 + 再生药剂精密计量投加,数据接入 DCS 集中监控。