电子厂超纯水加药：阻垢剂和还原剂-蔚岚科技

电子厂超纯水加药，说穿了是一句话：药都加在RO前面，越往后越干净，到EDI和抛光段基本不再往水里加东西。预处理段要用还原剂把余氯去掉，RO进水加阻垢剂，两级RO之间有时加一点碱，后面的工序靠膜、电和离子交换把水做纯。这篇写给电子厂、面板厂和半导体厂负责纯水站的运维班组和配加药装置的设计人员。

电子厂纯水的超纯水加药都加在哪几段

一条常见的电子厂纯水链大致是：原水→多介质过滤、活性炭或超滤→保安过滤→一级RO→二级RO→EDI→抛光混床、紫外、终端超滤→用水点。加药点集中在前半段，每一处的目的都不一样：

图 1：ProMinent gamma/X 电磁计量泵。图片来源：ProMinent官网

很多人以为超纯水加药越多越保险，实际恰好相反，每多一种药，后面的膜和树脂就多一份负担。

RO膜大多是聚酰胺复合膜，怕氧化，进水带余氯会让脱盐率慢慢往下掉，而且这种损伤不可逆。活性炭能吸附余氯，但炭床会穿透、会长菌，所以多数电子厂在保安过滤器前再加一道亚硫酸氢钠。

**还原剂投加量要跟着余氯走，不是越多越好。**加多了，水里残留的还原剂会消耗溶解氧，给膜面微生物创造条件，生物污堵反而加快。常见做法是在投加点下游装ORP或余氯仪表，ORP偏高时报警并联锁停高压泵，泵的流量按进水量和余氯设定比例投加。

现场最常见的坑是配药。亚硫酸氢钠溶液敞着放会被空气慢慢氧化，药箱一桶配好用很多天，后面几天实际有效浓度已经不够，余氯就压不住。药箱要加盖，配药量按几天内用完来定。

阻垢剂的选药和浓水侧结垢计算，前面已经写过反渗透阻垢剂小流量投加要点和阻垢剂加药装置的作用，这里只补电子厂里的两点。

一是阻垢剂原液投加量很小，很多系统把原液稀释后再加，泵的冲程才能落在比较准的区间。稀释用水要用RO产水或软化水，不要用自来水，否则药箱里先结垢。二是阻垢剂和还原剂的投加点要拉开距离，各走各的注射阀，不要在同一个三通里汇合，两股药液在管口直接混合容易出现局部反应和沉积。

一级RO基本截不住二氧化碳，它会一路带到EDI，增加EDI负荷。有的设计在二级RO进水前加少量氢氧化钠，把二氧化碳转成碳酸氢根，让二级RO能截下来。这一处的超纯水加药流量更小，而且要用pH闭环控制，碱加多了二级RO浓水侧容易结垢，加少了又没效果。

EDI本身靠电和树脂连续再生，正常运行不加药。所以加碱点之后，整个系统就进入“不加药”区域。

抛光段要把电阻率、TOC和颗粒做到用水点要求，任何外来物质都算污染，一般只用紫外、抛光混床和终端超滤。电子厂纯水指标出问题，往往要回头查前面的超纯水加药是否过量，而不是在抛光段补药。

**先看最小流量下能不能稳定。**进水量变化时泵要能跟着调，低负荷时也不能脉冲不均。电磁计量泵在这种场合用得多，比如普罗名特ProMinent的gamma/X系列，可以接收外部脉冲或模拟量信号，跟随进水流量计调节投加。

再看背压。很多投加点在保安过滤器前，管路压力不高，泵出口接近常压时容易虹吸，药量会比设定的多。出口要装背压阀，具体做法可以看隔膜计量泵出口背压阀的安装。泵型选择可以先看电磁计量泵产品分类和普罗名特品牌页。

超纯水加药用的阻垢剂、还原剂一般选杂质含量低的品种，配药罐用PE或PP，搅拌器接液部件不要用会掉锈的碳钢。

加药管路选PVDF或PE，注射阀插入主管的那一段尽量短，避开死角。泵头材质以PVDF为主，阀球用陶瓷或PTFE。安全上提醒一句：配碱、配亚硫酸氢钠都要戴护目镜和手套，拆泵头前先泄压。

电子厂超纯水加药的核心是把药控制在RO之前：还原剂按余氯投加并用ORP把关，阻垢剂稀释后小流量连续加，二级RO前的碱用pH闭环，EDI和抛光段不加药。选泵重点看小流量稳定性、外控信号、背压和接液材质。把进水量、药剂种类和投加点压力整理好，联系选型帮您配泵。

要。RO停机时加药泵继续打，药液会在管段里积累，重新开机时一次冲进膜里。一般把加药泵的启停信号接到RO运行信号上。

可以，焦亚硫酸钠溶于水后会生成亚硫酸氢钠，很多厂买的就是焦亚硫酸钠固体，现场配成溶液。配药浓度和投加比例按换算后的有效成分来定。

不建议。两种药混在一起可能互相影响，而且投加量各自要按不同参数调，分开药箱、分开泵最省心。

一般不需要。EDI前主要是控制进水的硬度、二氧化碳和余氯，靠的是前面的RO和加碱，而不是在EDI进口再加药。

先把原液稀释，让泵在更合理的冲程区间工作；还不行就换更小规格的泵头，不要靠把冲程调到极低来凑。